光发射接收复合单元和使用它的位移检测装置

摘要

本发明是光发射接收复合单元(1)，通过将光源(3)、用于将返向单元的回射光分为多个光束的光分路部(4)、根据回射光的偏振状态增减透光量的偏振部(5)以及包含用于探测经过偏振部(5)的光的多个光探测部(6－1至6－4)的光接收部(6)进行封装，形成了一体化结构。作为在该单元(1)外部的外部光学系统ET，配置了包含反射型衍射光栅RG的被检测部；使从单元(1)出射的光向反射型衍射光栅RG反射的反射构件(R1a、R1b)；接受由反射型衍射光栅RG产生的衍射光、改变其偏振状态的偏振构件(WP1a、WP1b)；以及用于反射通过各偏振构件的光、使其沿反方向返回的反射构件(R2a、R2b)，构成了光栅干涉型位移检测装置。

主权项

1.一种光发射接收复合单元，其特征在于：包括：光源；用于将从上述光源发出的光中的、通过外部光学系统返回单元的光分为多个光束的光分路部；根据上述回射光的偏振状态增减透光量的偏振部；以及包含用于探测经过上述偏振部的光的多个光探测部的光接收部，将上述光源、上述光分路部、偏振部和光接收部配置在同一构件内，形成一体化。