不良分析方法

摘要

本发明得到能够高精度地分类不良模式的不良分析方法，根据使用LSI测试器2进行的预定检查的结果，生成原始FBM27a，其次，通过把FBM27a用8×8比特简并，生成FBM27b，然后，根据FBM27b，特定FBM27a内存在不良比特的区域，然后，通过使与上述区域相对应部分的FBM27a用2×2比特简并，生成FBM27c、27d，最后，根据FBM27c、27d，特定不良比特。

主权项

1.一种不良分析方法，其特征在于具备：(a)根据对于检查对象进行的预定检查的结果，生成具有矩阵形地排列了多个比特的图形的第1FBM的工序；(b)通过用第1简并率使上述第1FBM简并，生成第2FBM的工序；(c)根据上述第2FBM，特定在上述第1FBM内存在不良比特的区域的工序；(d)用比上述第1简并率低的第2简并率，通过使与上述区域相对应部分的上述第1FBM简并，生成第3FBM的工序；(e)根据上述第3FBM，特定上述不良比特的工序。