一种带有集成的电测试点的真空吸盘

摘要

一种带有嵌入表面内导电回路的真空吸盘，其提供了进行电测试的可靠导电路径并对进行测试的柔性底板的全部面积提供了可靠和均匀的机械支撑。在一种可能的形式中，吸盘包括空气可渗透的微晶多孔氧化铝组件，其具有涂有导电材料的表面，涂层相当薄，不会妨碍空气通过导电材料或陶瓷组件。导电材料还可以进行蚀刻或形成导电图案，以进行底板测试。

主权项

1.一种测试底板的方法，包括：提供待测试的底板，所述底板具有至少一个测试点；提供真空吸盘，其包括空气可渗透的导电层；将所述底板定位在所述吸盘的所述导电层附近；至少将所述导电层和所述底板之间的一部分空气抽出，使抽出的空气从所述导电层和所述底板之间通过所述导电层排出。