微影制程的焦距检测方法

摘要

本发明公开一种微影制程的焦距检测方法。首先，在一光罩上形成大体平行排列的复数线条图案，藉由此光罩在一形成有光阻层的晶图上进行曝光，以在光阻层上形成复数个曝光区，其中每一曝光区系对应使用一曝光焦距。随后，对光阻层进行显影，以在晶圆上形成具有线条图案的复数图案区。然后，将具有上述图案区的晶圆置入一光学仪器中，并观测由每一曝光焦距对应形成的图案区中的线条线宽变化。最后，依据线宽变化及其对应的曝光焦距定出焦距允收范围(focus latitude)。

主权项

1、一种微影制程的焦距检测方法，其特征在于至少包括下列步骤：在一光罩上形成一测试图案；藉由上述光罩在一形成有光阻层的基底上进行曝光，以在上述光阻层上形成复数个曝光区，其中每一上述曝光区系对应使用一曝光焦距；对上述光阻层进行显影，以在上述基底上形成具有上述测试图案的复数图案区；检测每一上述图案区以定出焦距的允收范围。