| 发明名称 | 氧化铈浆液及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种用于光学或CMP用途的抛光用浆液，它包含BET表面积至少为10m<SUP>2</SUP>/gm的氧化铈。该浆液的制法是将市售的含团聚体的氧化铈浆液于pH值为9-11用低纯度的α-氧化铝或氧化锆介质进行机械化学处理。较佳的浆液在所有pH值时均保持正表面电荷。CMP浆液较好是还包含阴离子表面活性剂，以助于除去表面碎屑。 | ||
| 申请公布号 | CN1129554C | 申请公布日期 | 2003.12.03 |
| 申请号 | CN00808911.6 | 申请日期 | 2000.06.06 |
| 申请人 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 发明人 | A·K·加格;B·V·塔尼克拉;A·豪恩德 |
| 分类号 | C01F17/00;C09K3/14;H01L21/306 | 主分类号 | C01F17/00 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 白益华 |
| 主权项 | 1.一种制备适用于光学抛光和CMP用途的氧化铈浆液的方法，该方法包括：提供一种氧化铈颗粒的浆液，氧化铈颗粒的BET表面积小于10米2/克，该浆液包含许多个团聚的氧化铈颗粒，在pH为9-12.5的条件下研磨所述浆液直至氧化铈颗粒的BET表面积至少增加5米2/克。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||