发明名称 反射式液晶显示器的形成方法及其接合垫的排列结构
摘要 一种反射式液晶显示器的形成方法及其接合垫的排列结构,其在为反射式液晶显示器制作薄膜晶体管构造时,直接在第一或第二金属层上形成铟锡氧化物,使得为扫描垫或资料垫蚀刻接触窗后即可直接获得接合垫,因而减少一道形成接合垫的铟锡氧化物光罩,简化了制程。
申请公布号 CN1459655A 申请公布日期 2003.12.03
申请号 CN02120252.4 申请日期 2002.05.17
申请人 元太科技工业股份有限公司 发明人 徐宏辉;林文坚
分类号 G02F1/136 主分类号 G02F1/136
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 李强
主权项 1.一种反射式液晶显示器的形成方法,其特征在于:该方法形成反射式液晶显示器的薄膜晶体管阵列同时形成接合垫,包括有如下步骤:形成第一金属层;形成铟锡氧化物在该第一金属层上;以该第一金属层制作闸极、扫描垫及资料垫;制作薄膜晶体管构造;形成第二金属层;以该第二金属层制作源/汲极及资料线;及形成导电层连接该资料垫及资料线。
地址 台湾省新竹市