LIGHT-ABSORBING POLYMER FOR FORMING ORGANIC ANTI-REFLECTIVE LAYER, COMPOSITION INCLUDING THE SAME, AND METHOD FOR FORMING SEMICONDUCTOR DEVICE PATTERN USING THE SAME,申请号AU20030235226-传众专利搜索

发明名称	LIGHT-ABSORBING POLYMER FOR FORMING ORGANIC ANTI-REFLECTIVE LAYER, COMPOSITION INCLUDING THE SAME, AND METHOD FOR FORMING SEMICONDUCTOR DEVICE PATTERN USING THE SAME
摘要
申请公布号	AU2003235226(A1)	申请公布日期	2003.12.02
申请号	AU20030235226	申请日期	2003.05.16
申请人	MOLAY CO., LTD.	发明人	KWANKU LEE
分类号	G03F7/09;(IPC1-7):H01L21/027;C07C309/73;G03F7/039	主分类号	G03F7/09
代理机构		代理人
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