| 发明名称 |
BAFFLE PLATE AND PLASMA ETCHING DEVICE HAVING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003232645(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.02 |
| 申请号 |
AU20030232645 |
申请日期 |
2003.05.22 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON KOREA LTD. |
发明人 |
YOUNG JAE MOON;JEUNG WOO LEE;MOON HWAN KIM |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01J37/32;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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