| 发明名称 |
ILLUMINATION SYSTEM PARTICULARLY FOR MICROLITHOGRAPHY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003236640(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.02 |
| 申请号 |
AU20030236640 |
申请日期 |
2003.05.13 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
JOCHEN WIETZORREK;JOACHIM HAINZ;WOLFGANG SINGER;JOHANNES WANGLER;MARTIN ANTONI;JORG SCHULTZ;UDO DINGER;KARL-HEINZ SCHUSTER |
| 分类号 |
G02B17/06;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/00;G21K5/04;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B17/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
