| 发明名称 |
Illumination system for microlithography |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003236640(A8) |
申请公布日期 |
2003.12.02 |
| 申请号 |
AU20030236640 |
申请日期 |
2003.05.13 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
WOLFGANG SINGER;JORG SCHULTZ;UDO DINGER;JOCHEN WIETZORREK;KARL-HEINZ SCHUSTER;JOACHIM HAINZ;MARTIN ANTONI;JOHANNES WANGLER |
| 分类号 |
G02B17/06;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/00;G21K5/04;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B17/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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