发明名称 |
METHOD OF DEPOSITING COPPER ON A SUPPORT |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003251045(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.02 |
申请号 |
AU20030251045 |
申请日期 |
2003.05.15 |
申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE |
发明人 |
PASCAL DOPPELT |
分类号 |
C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):C07F1/08 |
主分类号 |
C23C16/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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