发明名称 METHOD OF DEPOSITING COPPER ON A SUPPORT
摘要
申请公布号 AU2003251045(A1) 申请公布日期 2003.12.02
申请号 AU20030251045 申请日期 2003.05.15
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 发明人 PASCAL DOPPELT
分类号 C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):C07F1/08 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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