发明名称 PLASMA TORCH FOR MICROWAVE INDUCED PLASMAS
摘要
申请公布号 AU2003232917(A1) 申请公布日期 2003.12.02
申请号 AU20030232917 申请日期 2003.05.21
申请人 VARIAN AUSTRALIA PTY LTD 发明人 MICHAEL, RON HAMMER
分类号 G01N21/73;H05H1/34;H05H1/42;(IPC1-7):H05H1/34 主分类号 G01N21/73
代理机构 代理人
主权项
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