| 发明名称 |
SPUTTER METHOD OR DEVICE FOR THE PRODUCTION OF NATURAL VOLTAGE OPTIMIZED COATINGS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003232242(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.02 |
| 申请号 |
AU20030232242 |
申请日期 |
2003.04.30 |
| 申请人 |
UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
WALTER HAAG |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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