发明名称
摘要
申请公布号 JP3471507(B2) 申请公布日期 2003.12.02
申请号 JP19960002200 申请日期 1996.01.10
申请人 发明人
分类号 C23C8/16;C23C8/12;C23F1/00;(IPC1-7):C23C8/12 主分类号 C23C8/16
代理机构 代理人
主权项
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