| 发明名称 |
Method and apparatus for determining layer thickness and composition using ellipsometric evaluation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003229314(A8) |
申请公布日期 |
2003.12.02 |
| 申请号 |
AU20030229314 |
申请日期 |
2003.05.15 |
| 申请人 |
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA |
发明人 |
CHARLES HUNT;JEFFREY PETERSON;PETER BJELETICH |
| 分类号 |
G01B11/06;G01N21/21;G01N21/41;(IPC1-7):G01N21/00;G01J4/00 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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