| 发明名称 |
SPUTTERING CATHODE ADAPTER ASSEMBLY AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003237852(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.02 |
| 申请号 |
AU20030237852 |
申请日期 |
2003.05.14 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
JOHN LAWSON;DALE IRWIN;SETVE CHERVENAK;JOHN MCINTEE |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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