基板搬送装置

摘要

从各基板载置台(1、16)及(11)上所形成的复数空气孔(4、18、12)上吹之空气使玻璃基板上浮，一面藉吸着保持该上浮的玻璃基板(3)之搬送方向的前端部两端的张引力，另一面进行搬送作业。