使用功能水的光阻剂除去方法及其装置

摘要

【课题】提供由洗净成本或环境保全的观点优良，而且除去能力也极高的光阻剂处理方法及其装置。【解决手段】使用此发明的功能水的光阻剂除去方法其特征为由以下的制程构成。(1)、对涂布有光阻剂的基板照射波长172±l0nm的真空紫外光的制程。(2)、对此光阻剂面略均匀地涂布功能水的制程。(3)、朝此功能水照射波长l90～310nm的紫外光的制程。