发明名称 基板载具
摘要 本创作系提供一种基板载具,其包括有架体,该架体包括有复数上边杆及下边杆,于上、下边杆间形成有置放空间,在每一上、下边杆上均设有一定位槽及一导引槽,其中在定位槽上设置有复数个相隔不同距离之定位卡槽;支撑部系平行设置于架体之置放空间中,二支撑部之间形成有可收容基板之收容空间;定位销系包括有头部及销部,其中销部系位于定位槽,当销部在定位槽中滑动至预定的定位卡槽处时,支撑部亦将在销部的带动下在架体之相应边杆上滑动至预定的位置,藉此来变换二支撑部之相对位置以收容具预定尺寸之基板;紧固螺钉系穿过上述导引槽并与滑动杆上的螺纹孔相配合。【本案指定代表图及说明】(一)、本案指定代表图为:第 一 图(二)、本代表图之元件代表符号简单说明:基板载具 1 架体 10上边杆 101下边杆 102支撑部 20 上滑动杆 202下滑动杆 204 支撑体206支撑肋 208 定位销 30紧固螺钉
申请公布号 TW565008 申请公布日期 2003.12.01
申请号 TW091218165 申请日期 2002.11.13
申请人 沛鑫半导体工业股份有限公司 发明人 黄俊凯;张明辉
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项 1.一种基板载具,系用以承载基板,其包括有:架体,系包括有复数上边杆及下边杆,于上、下边杆间形成有置放空间,在每一上、下边杆上均设有一对平行沟槽,每对沟槽之其中之一个为定位槽,另一个为导引槽,其中在定位槽上设置有复数个相隔不同距离之定位卡槽;至少二支撑部,系平行设置于架体之置放空间中,二支撑部之间形成有可收容基板之收容空间,每一支撑部具有上滑动杆、下滑动杆及位于上、下滑动杆之间的支撑体,在上、下滑动杆之其中之一者上设有一通孔,在该滑动杆之相邻于通孔之位置处还设有一螺纹孔;定位销,系包括有头部及销部,其中销部系穿过上述通孔及定位槽,当销部在定位槽中滑动至预定的定位卡槽处时,支撑部亦将在销部的带动下在架体之相应边杆上滑动至预定的位置,藉此来变换二支撑部之相对位置以收容具预定尺寸之基板;紧固螺钉,系穿过上述导引槽并与滑动杆上的螺纹孔相配合,当支撑部处于滑动状态时,紧固螺钉系位于导引槽中并处于松动状态,当支撑部滑动至预定位置处时,将紧固螺钉紧固于螺纹孔中。2.如申请专利范围第1项所述之基板载具,支撑部之螺纹孔与通孔之间距与上述支架之定位槽与导引槽之间距相等。3.如申请专利范围第1项所述之基板载具,其中定位卡槽系设置于上、下边杆之外侧,并与定位槽之二侧壁之外边缘相交,从而使得每一定位卡槽均被定位槽分为二对称的部分。4.如申请专利范围第1项所述之基板载具,其中每一支撑体之竖直方向上排布有复数个呈半圆形的板状支撑肋,每一支撑肋均与水平方向平行。5.如申请专利范围第1项所述之基板载具,其中上述通孔直径与定位槽之宽度相同。6.如申请专利范围第5项所述之基板载具,其中定位销之头部直径大于通孔。7.如申请专利范围第6项所述之基板载具,其中于定位销的销部套设有弹簧,当定位销之销部穿过通孔后,该弹簧则位于头部与边杆的表面之间而给该定位销提供一向上的弹性力。8.如申请专利范围第7项所述之基板载具,其中定位销之销部末端具有一通孔,一插销插入该通孔中,当销部在定位槽中滑动至预定的定位卡槽处时,可将插销收容于定位卡槽中。9.一种基板载具,系用以承载基板,其包括有:架体,系包括有复数上边杆及下边杆,于上、下边杆间形成有置放空间,在每一上、下边杆上均设有至少一个导引槽;至少二支撑部,系平行设置于架体之置放空间中,二支撑部之间形成有可收容基板之收容空间,每一支撑部具有上滑动杆、下滑动杆及位于上、下滑动杆之间的支撑体,在上、下滑动杆之其中之一者上设有一螺纹孔;紧固螺钉,系穿过上述导引槽并与滑动杆上的螺纹孔相配合,当支撑部处于滑动状态时,紧固螺钉系位于导引槽中并处于松动状态,当支撑部滑动至预定位置处时,将紧固螺钉紧固于螺纹孔中。10.如申请专利范围第9项所述之基板载具,在上述每一上、下边杆上还设有一个与上述导引槽平行之定位槽,且在定位槽上设置有复数个相隔不同距离之定位卡槽。11.如申请专利范围第10项所述之基板载具,在该滑动杆之相邻于螺纹孔之位置处还设有一通孔。12.如申请专利范围第11项所述之基板载具,其还包括定位销,该定位销具有头部及销部,其中销部可穿过上述通孔及定位槽,且该定位销的销部还套设有弹簧。13.如申请专利范围第12项所述之基板载具,其中定位销之销部末端具有一通孔,一插销插入该通孔中,当销部在定位槽中滑动至预定的定位卡槽处时,可将插销收容于定位卡槽中。图式简单说明:第一图系本创作基板载具之立体示意图。第二图系第一图所示之基板载具之部分结构之放大图,图中显示定位销、插销及紧固螺钉与架体之定位槽及导引槽之位置关系示意图。第三图系第二图所示之插销收容于定位槽之定位卡槽中的示意图。第四图系第二图所示之定位销、插销、弹簧及紧固螺钉之组配关系示意图。第五图系本创作基板载具之定位销与支撑部之下滑动杆及架体之下边杆相配合的示意图。
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