| 主权项 |
1.一种具分离模组之段差量测装置,用以量测放置于化学机械研磨机台之研磨头上之一晶圆,其中该研磨头包含有一基座本体,并装设有一晶圆压覆环,系藉以容置晶圆,并经由该段差量测装置量测该晶圆突出该晶圆压覆环之高度,该具分离模组之段差量测装置系包含有:一底板,可局部覆盖该晶圆,且一侧具有一穿孔;一分离模组,装设于该底板之穿孔处,系包含有:一固定座,具有一容置空间,装设于该底板;一抵持件,可活动地装设于该固定座之容置空间内,且外露于该固定座,并穿越该底板之穿孔一适当距离;及一弹性元件,设置于该固定座之容置空间,且位于该抵持件后方,常态可维持该抵持件外露于该固定座;一支架主体,装设于该底板,且与该分离模组同侧;及一量表,装设该支架主体一端,且可藉由底端之一探针抵触于该晶圆压覆环而可量取该晶圆突出该晶圆压覆环之高度;其中藉由该弹性元件常态提供弹力给予该抵持件,而使该抵持件推抵该晶圆,防止该底板与该晶圆分离时的吸附现象,使其平顺的脱离该晶圆。2.如申请专利范围第1项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该底板更包含有一卡扣部,系用以将该具分离模组之段差量测装置抵靠于该基座本体。3.如申请专利范围第1项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该固定座之两侧还包含有向外延伸之一抵合部,该抵合部具有一穿孔,系用以提供固定元件穿越该穿孔而将该固定座锁合于该底板。4.如申请专利范围第3项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该固定元件为一螺丝。5.如申请专利范围第1项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该弹性元件为一弹簧。6.如申请专利范围第1项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该弹性元件为一弹性"O"型环。7.如申请专利范围第1项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该抵持件为一顶针,该顶针包含有相连之针杆以及接合面,该弹性元件藉由该接合面提供该顶针所需之弹力。8.如申请专利范围第7项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该接合面之另一侧更包含有相连之杆体,系用以限制该抵持件内缩进入固定座的长度。9.如申请专利范围第7项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该顶针之前端具有倒角,系用以防止损伤该晶圆之表面。10.如申请专利范围第7项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该顶针之前端具有圆角。11.如申请专利范围第1项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该晶圆压覆环具有一凹槽。12.如申请专利范围第1项所述之具分离模组之段差量测装置,其中该量表为千分刻度量表。图式简单说明:第1图为本创作具分离模组之段差量测装置示意图;第2A图为本创作之分离模组第一种实施例示意图;第2B图为本创作分离模组之第二种实施例示意图;第2C图为本创作之分离模组第三种实施例示意图;第3图为本创作具分离模组之段差量测装置之组合图;及第4图为本创作具分离模组之段差量测装置运动局部示意图; |
