| 主权项 |
1.一种品质保证自动显示装置,其特征为包含有:资料处理装置;及显示装置,用以显示前述资料处理部之综合分级资料;其中该资料处理装置具有:检查项目资料保持部,用以保持对每个被检查物的检查项目之可靠性作判断而分级后的检查项目分级资料;及资料处理部,在从前述检查项目资料保持部转送前述检查项目分级资料后,依照演算法决定前述被检查物的品质保证度之综合分级资料。2.如申请专利范围第1项之品质保证自动显示装置,其中,前述资料处理装置为,更具备有,可对每个前述检查项目的前述被检查物之检查资料作保持的检查资料保持部;前述资料处理部,系在从前述检查资料保持部转送前述检查资料后,依照该资料处理部的演算法决定前述被检查物之品质保证度的综合分级资料者。3.如申请专利范围第1或2项之品质保证自动显示装置,其中,前述检查项目分级资料为,以对应于前述检查项目之检查装置和检查方法为基准而作判断者。4.如申请专利范围第1项之品质保证自动显示装置,其中,前述显示装置为,将前述综合分级资料直接印刷在前述被检查物之印刷装置者。5.如申请专利范围第1项之品质保证自动显示装置,其中,前述被检查物为,半导体装置、光罩或是成为光罩原材料的胚料者。6.如申请专利范围第1项之品质保证自动显示装置,其中,前述被检查物为光罩,前述显示装置为,将前述综合分级资料显示形成在前述光罩的图案领域内之未形成图案部份者。图式简单说明:图1表示本发明的实施形态1之品质保证自动显示装置的概略图。图2表示在图1之品质保证自动显示装置的检查项目资料保持部的资料之一览图。图3为图1之品质保证自动显示装置的流程图。图4表示本发明的实施形态2在品质保证自动显示装置之检查项目资料保持部的资料之一览图。图5表示本发明的实施形态3之品质保证自动显示装置的概略图。 |
