| 主权项 |
1.一种设备自动化(Equipment Automation;EA)系统,适用于一机台与一机台控制系统(Tool Control System;TCS)间之自动化控制,其中该设备自动化系统至少包括:一机台应用程式(Tool Application Program;TAP);以及一延伸标记语言(Extensible Markup Language;XML),藉以做为该机台应用程式之一端与该机台控制系统间之通讯介面,其中该机台应用程式中之至少一程式码与该机台控制系统中之至少一程式码系以该延伸标记语言撰写而成。2.如申请专利范围第1项所述之设备自动化系统,其中该机台应用程式之另一端与该机台间系以一半导体设备通讯标准(Semiconductor Equipment Communication Standard;SECS)做为通讯介面。3.如申请专利范围第1项所述之设备自动化系统,其中更包括一机台控制系统触发情节,自该机台控制系统发出,且传送至该机台应用程式。4.如申请专利范围第3项所述之设备自动化系统,其中该机台应用程式中至少包括一第一事件滙流排,藉以做为该机台控制系统触发情节进入该机台应用程式之一通道。5.如申请专利范围第1项所述之设备自动化系统,其中更包括一机台事件驱动情节,自该机台发出,且传送至该机台应用程式。6.如申请专利范围第5项所述之设备自动化系统,其中该机台应用程式中至少包括一第二事件滙流排,藉以做为该机台事件驱动情节进入该机台应用程式之一通道。7.如申请专利范围第1项所述之设备自动化系统,其中该机台应用程式与该机台控制系统间一讯号之一处理型态系选自于由事件、请求(Request;Req)、以及回应(Acknowledge;Ack)所组成之一族群。8.一种设备自动化系统,适用于一机台与一机台控制系统间之自动化控制,其中该设备自动化系统至少包括:一机台应用程式;一延伸标记语言,藉以做为该机台应用程式之一端与该机台控制系统间之通讯介面,其中该机台应用程式中之至少一程式码与该机台控制系统中之至少一程式码系以该延伸标记语言撰写而成;一机台控制系统触发情节,自该机台控制系统发出,且传送至该机台应用程式;以及一机台事件驱动情节,自该机台发出,且传送至该机台应用程式。9.如申请专利范围第8项所述之设备自动化系统,其中该机台应用程式之另一端与该机台间系以一半导体设备通讯标准做为通讯介面。10.如申请专利范围第8项所述之设备自动化系统,其中该机台应用程式中至少包括一第一事件滙流排,藉以做为该机台控制系统触发情节进入该机台应用程式之一通道。11.如申请专利范围第8项所述之设备自动化系统,其中该机台应用程式中至少包括一第二事件滙流排,藉以做为该机台事件驱动情节进入该机台应用程式之一通道。12.如申请专利范围第8项所述之设备自动化系统,其中该机台应用程式与该机台控制系统间一讯号之一处理型态系选自于由事件、请求、以及回应所组成之一族群。图式简单说明:第1图系绘示习知半导体制程机台与机台控制系统间之连接关系图;第2图系绘示本发明之一较佳实施例之半导体机台与机台控制系统间之连接关系图;第3图系绘示本发明之一较佳实施例之设备自动化系统之系统架构图;以及第4A图至第4D图系绘示本发明中机台应用程式与机台控制系统间信号交换之示意图。 |
