| 主权项 |
1.一种加工室,其包含:一壁面,在其中具有一孔口;一凸缘,其配置环绕该孔口;及一隔热体,其位于该凸缘及一夹紧装置之间,以于该凸缘及该夹紧装置之间隔热一密封件,该隔热体包含:一冷却管,其具有一侧壁,该侧壁位在该凸缘上方且附着至该凸缘;及一盖子,其位在该冷却管上方,该盖子具有一密封表面,该密封件安坐抵住该密封表面以密封该凸缘至该夹紧装置,其中该冷却管于一加工操作期间能减少热量由该加工室传送至该密封件。2.如申请专利范围第1项之加工室,其中该凸缘、该冷却管及该盖子系包含石英。3.如申请专利范围第2项之加工室,其中该凸缘包含不透明之石英,以减少热量由该加工室朝向该密封件辐射。4.如申请专利范围第2项之加工室,其中该凸缘在远离该加工室之一远侧端具有一圆柱形开口,且其中该冷却管包含一弯曲、大体而言圆形之形状,其直径大体而言等于该凸缘之直径。5.如申请专利范围第2项之加工室,其中该冷却管系改造成具有如光导管之功能,其将来自该加工室之热辐射引导远离该密封件。6.如申请专利范围第1项之加工室,其中一流体系通过该冷却管。7.如申请专利范围第6项之加工室,其中该流体系一气体,及系选自包括:空气;氮;氦;及氩之族群。8.如申请专利范围第6项之加工室,其中该流体系一于该加工操作期间在该加工室中所使用之加工气体,且其中该加工气体系在已通过该冷却管之后导入该加工室,以致于导入该加工室之前预先加热该加工气体。9.如申请专利范围第1项之加工室,其中该冷却管之侧壁系焊接至该凸缘。10.如申请专利范围第1项之加工室,其中该冷却管系与该凸缘一体成形。11.如申请专利范围第1项之加工室,其中该孔口包含一出入口,一半导体基板之工件系经过该出入口载入该加工室。12.如申请专利范围第1项之加工室,其中该加工室系已加压、抽真空或排气。13.如申请专利范围第1项之加工室,其中该隔热体尚包含额外之冷却管,其具有一侧壁,该侧壁位在该凸缘上方及附着至该凸缘,且与该冷却管同心。14.如申请专利范围第1项之加工室,其中该冷却管系一分段式冷却管,其中每一段冷却管能减少热量传送至该密封件之一部份。15.如申请专利范围第1项之加工室,其中该隔热体尚包含额外之冷却管,其具有一侧壁,该侧壁位在该冷却管上方及与该冷却管同心,且附着至该冷却管及附着至该盖子。16.一种在玻璃加工室及夹紧装置之间隔热一密封件之方法,该加工室包含一具有孔口之壁面,及一配置环绕该孔口之凸缘,该方法包含下列步骤:将具有一侧壁之冷却管附着至该凸缘,以致该侧壁位在该凸缘上面;将一盖子附着至该冷却管,该盖子具有一密封表面,该密封件安坐抵住该密封表面以密封该凸缘至该夹紧装置;及传送一流体经过该冷却管,以于一加工操作期间减少热量由该加工室传送至该密封件。17.如申请专利范围第16项之方法,其中该凸缘在远离该加工室之一远侧端包含一圆柱形开口,且其中附着一冷却管之步骤包括附着一大体而言弯曲成圆圈之冷却管,其直径大体而言等于该玻璃凸缘之直径。18.如申请专利范围第16项之方法,其中附着一冷却管之步骤包含附着一改造成具有如光导管功能之冷却管之步骤,以将来自该玻璃加工室之热辐射引导远离该密封件。19.如申请专利范围第16项之方法,其中使一流体通过该冷却管之步骤包含使一气体流经该冷却管之步骤。20.如申请专利范围第19项之方法,其中使一气体通过该冷却管之步骤包含使一选自包括以下族群之气体流过之步骤:空气;氮;氦;及氩。21.如申请专利范围第19项之方法,其中该气体为一于该加工操作期间用于该玻璃加工室之加工气体,且其中使一气体流经该冷却管之步骤包含在该加工气体流经该冷却管之后将其导入该玻璃加工室之步骤,以致于导入该玻璃加工室之前预先加热该加工气体。22.如申请专利范围第16项之方法,其中该冷却管包含玻璃,及其中附着冷却管至该玻璃凸缘之步骤包含将该冷却管之侧壁焊接至该凸缘之步骤。23.一种在加工室及夹紧装置之间隔热一密封件之隔热体,该加工室包含一具有孔口之壁面,及一配置环绕该孔口之玻璃凸缘,该隔热体包含:一玻璃盖子,其具有一密封表面,该密封件安坐抵住该密封表面以密封该玻璃凸缘至该夹紧装置;及热传机制,其用以在该玻璃凸缘及玻璃盖子之间运送一热传流体;其中通过该热传机制之热传流体于一加工操作期间减少热量由该加工室传送至该密封件。24.如申请专利范围第23项之隔热体,其中该热传机制包含一机械加工成该玻璃凸缘之一部份表面之槽道,且其中该玻璃盖子焊接在该槽道上方,以形成一冷却通道,该热传流体系通过该冷却通道。25.如申请专利范围第23项之隔热体,其中该热传机制包含具有一外部壁面之冷却管,其一侧系焊接至该玻璃凸缘,且其中该玻璃盖子系焊接至该外部壁面面朝远离该玻璃凸缘之一部份。图式简单说明:图1(先前技艺)系一习知用于高温处理之加工室之横截面侧视图,其具有一在夹紧装置上之冷却回路,在该加工室上之一凸缘系藉着一O型环密封件密封至该夹紧装置;图2系根据本发明一具体实施例之加工室之横截面视图,其具有一凸缘,一隔热体系附着至该凸缘,以使一将该凸缘密封至一夹紧装置之密封件隔热;图3A系图2根据本发明一具体实施例之加工室之隔热体、凸缘、及该夹紧装置之一局部横截面视图;图3B系图2根据本发明一具体实施例之凸缘及隔热体之一平面上视图;图4系根据本发明一具体实施例之加工室内排气孔之局部横截面视图,其具有附着至一隔热体之凸缘;图5系根据本发明之隔热体冷却回路之另一选择具体实施例之局部横截面视图;图6系根据本发明另一选择具体实施例之凸缘之一局部横截面视图,其具有一体成形在其内之隔热体之冷却回路;图7系根据本发明一具体实施例之凸缘及隔热体之一局部横截面视图,其具有多数堆叠之冷却管;图8系根据本发明一具体实施例之凸缘及隔热体之一平面上视图,其具有多数同心之冷却管;图9系根据本发明一具体实施例之凸缘及隔热体之一平面上视图,其具有分成多区段之冷却管,每一段冷却管冷却及隔热该密封件之整个圆周或直径之一部份;图10系根据本发明一具体实施例之流程图,其显示一用于使在加工室及夹紧装置间之密封件隔热之方法之各项步骤;及图11系根据本发明一具体实施例之曲线图,其显示温度与时间之函数图,并说明藉着一隔热体使密封件隔热,而有及无流体流经该冷却回路。 |
