| 发明名称 |
ORGANE DE TRAITEMENT DE TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2828008(B1) |
申请公布日期 |
2003.11.28 |
| 申请号 |
FR20020009659 |
申请日期 |
2002.07.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO., LTD. |
发明人 |
HAGIHARA HIROTAKA |
| 分类号 |
C23C16/458;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68;H01L23/15 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
