| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN MIT EINER ZYLINDERFÖRMIGEN POLIERSCHEIBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60006139(D1) |
申请公布日期 |
2003.11.27 |
| 申请号 |
DE20006006139 |
申请日期 |
2000.08.17 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP., FREMONT |
发明人 |
FROST, T. |
| 分类号 |
B24B49/12;B24B1/00;B24B37/04;B24B49/04;B24B49/16;B24D13/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B49/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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