| 摘要 |
<p>Eine Mikroskopmessanordnung (1) zur Inspektion eines Substrates (2) umfasst ein Mikroskop (20), eine Beleuchtungsvorrichtung (12), vorzugsweise ein Sichtglas (10), eine Halterung (30), einen Substrathalter (40) und eine Drehvorrichtung (71) und/oder Kippvorrichtung (72). Der Substrathalter (40) ist zwischen wenigstens zwei Positionen verfahrbar, welche in den Sichtbereichen (11, 21) jeweils des Mikroskops (20) bzw. des Sichtglases (10) liegen. Das Substrat (2) kann mittels der Dreh- und/oder Kippvorrichtung (71, 72) zunächst einer Schräglichtkontrolle zum Auffinden von Defektpositionen unterzogen werden. Ohne das Substrat (2) vom Substrathalter (40) entfernen zu müssen, kann anschliessend mit dem Mikroskop (20) eine hochaufgelöste Inspektion zur Klassifikation des Defektes an der gefundenen Defektposition unternommen werden.</p> |
