一种工件表层纳米陶瓷薄膜制备装置

摘要

一种工件表层纳米陶瓷薄膜制备装置，其特征是真空反应室的顶部具有带法兰的罩盖，罩盖的顶部与升降机构的提升端连接；罩盖内具有带升降机构的阳极板，其极端通过导线接射频电源，阳极板的下面设置有带小孔的分流管外接气体管路；真空反应室的底部安装有由加热板支撑的电热丝，加热板上面由绝缘座支撑有温度缓冲板，由其支撑加工工件极板，其极端通过导线接射频电源；在机架内具有充气阀和真空规管分别与真空反应室底部连接；真空反应室底部由带蝶阀的抽气管外接出机架与真空泵组连接。具有真空反应室空间大，设置有加热机构、真空泵组设置在机架外，设置有可升降阳极板，设置气体分流管，在气体管路上设置有电磁阀，气瓶设置在气柜内等特点。

主权项

1、一种工件表层纳米陶瓷薄膜制备装置，包括机架、机架上部设置的真空反应室、射频电源、真空泵组、升降机构、带有质量流量计的气瓶组及与气瓶组连接的气体管路和接在气路中的电磁阀；其特征在于：真空反应室的顶部具有带法兰的罩盖，罩盖的顶部与升降机构的提升端连接；罩盖内具有带升降机构的阳极板，其极端通过导线接射频电源，阳极板的下面设置有带小孔的分流管外接气体管路；真空反应室的底部安装有由加热板支撑的电热丝，加热板上面由绝缘座支撑有温度缓冲板，由其支撑加工工件极板，其极端通过导线接射频电源；在机架内具有充气阀和真空规管分别与真空反应室底部连接；真空反应室底部由带蝶阀的抽气管外接出机架与真空泵组连接。