带流量调节阀的流量检测器

摘要

本发明提供了带流量调节阀的流量检测器，适用于半导体制造装置等洁净环境，可在一体化的装置中，进行有效的流量计测和流量调节。它备有流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5。流量检测器本体1具有贯通内部的流体流路2，在该流体流路上配设着流量传感器10的检测部11；输入部件3和输出部件5具有与上述流量检测器本体1内的流体流路2连通的输入输出流路4、6。在输出部件5中设有流量调节阀21。通过密封部件将流路2、4、6接合，在离开上述流路的位置，用螺栓20将流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5固定连接。

主权项

1.带流量调节阀的流量检测器，其特征在于，备有流量检测器本体(1)、输入部件(3)及输出部件(5)、流量调节阀(21)；流量检测器本体(1)具有贯通内部的流体流路(2)，在该流体流路(2)上配设着流量传感器(13)的检测部(11)，由此直接检测出流体流路(2)内的流体流量；输入部件(3)及输出部件(5)分别具有与上述流量检测器本体(1)的流体流路(2)连通的输入流路(4)及输出流路(6)，分别安装在流量检测器本体(1)的流体流路(2)的输入侧和输出侧；流量调节阀(21)设置在上述输入部件(3)和输出部件(5)中的任一方上或双方上，用于调节流动在它们流路中的流体的流量，上述流量检测器本体(1)内的流体流路(2)与上述输入部件(3)内的输入流路(4)和输出部件(5)内的输出流路(6)中的与上述流体流路(2)直接相连的部分的断面形状基本相同并且其流路呈直线状，上述输入部件(3)和输出部件(5)下面的上述输入流路(4)及输出流路(6)所开口的安装面(27、28)是与流量检测器本体(1)内的流体流路(2)轴线平行的面。