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发明名称 PLANARIZING INTERPOSER
摘要
申请公布号 EP1364221(A1) 申请公布日期 2003.11.26
申请号 EP20020707630 申请日期 2002.01.30
申请人 WENTWORTH LABORATORIES, INC. 发明人 BRANDORFF, ALEXANDER;PARDEE, WILLIAM, P.
分类号 G01R1/073;G01R31/28;G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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