卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种用于气相沉积的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置。它包括沉积室、支架以及设置在内支架内的蝶阀、罗茨泵、机械泵，在支架的上部横置有沉积室，沉积室的两端设有封头，在沉积室内部对应设有长方形的上极板和下极板，沉积室上设有观察窗，沉积室的下部通过蝶阀和管道分别连接有罗茨泵和机械泵。提供了一种同内径法兰密封的卧式多层真空镀膜装置，能较好的解决钟罩式或立式沉积装置加工面积小、占地面积大的问题，可充分利用沉积室空间，便于大规模产业化生产。

主权项

1.一种卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，包括沉积室(1)、支架(10)以及设置在内支架(10)内的蝶阀(7)、、罗茨泵(8)、机械泵(9)，其特征是：在所述的支架(10)上横卧有沉积室(1)，沉积室(1)的两端设有封头(4)，在沉积室(1)内部对应设有长方形的上极板(5)和下极板(6)，沉积室(1)上设有观察窗(2)，所述的沉积室(1)的下部通过蝶阀(7)和管道分别连接有罗茨泵(8)和机械泵(9)。