并行像散三维光聚焦探测装置

摘要

并行像散三维光聚焦探测装置，由光学探头、CCD图象采集处理和位移机构组成，所述光学探头以中心点同处在光轴线a上、自一侧至另一侧依次设置为点光源、准直透镜、微透镜阵列、针孔阵列、分束镜、物镜和可轴向移动的被测物件，其特征是在垂直于光轴线a的方向上、位于所述CCD探测面前方，设置像散透镜，像散透镜及CCD探测面的中心点在光轴线b上，中心点连线垂直并相交于光轴线a、交点在分束镜中心，像散透镜、CCD探测面所在平面均垂直于光轴线b、与分束镜的反射面相对。本实用新型结构简单，具有高精度、高速度的优异性能。

主权项

1、并行像散三维光聚焦探测装置，由光学探头、CCD图象采集处理和位移机构组成，所述光学探头以中心点同处在光轴线a(1)上、自一侧至另一侧依次设置为点光源(3)、准直透镜(4)、微透镜阵列(5)、针孔阵列(6)、分束镜(7)、物镜(8)和可轴向移动的被测物件(9)，其特征是在垂直于光轴线a(1)的方向上、位于所述CCD探测面前方，设置像散透镜(10)，像散透镜(10)及CCD探测面的中心点在光轴线b(2)上，中心点连线垂直并相交于光轴线a(1)、交点在分束镜(7)中心，像散透镜(10)、CCD探测面所在平面均垂直于光轴线b(2)、与分束镜(7)的反射面相对。