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发明名称 Method for forming a thin film and apparatus for carrying out the method
摘要
申请公布号 EP1350864(A3) 申请公布日期 2003.11.26
申请号 EP20030011561 申请日期 1998.08.19
申请人 SHINCRON CO., LTD. 发明人 SHIGEHARU, MATSUMOTO;KAZUO, KIKUCHI;MASAFUMI, YAMASAKI;QI, TANG;OGURA, SHIGETARO
分类号 H01L21/203;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/56;G02B1/12;(IPC1-7):C23C14/08;C23C14/14;C23C14/58 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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