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发明名称 SPUTTER CATHODE WITH MAGNETIC SHUNT
摘要
申请公布号 EP1364385(A2) 申请公布日期 2003.11.26
申请号 EP20010996878 申请日期 2001.11.13
申请人 OTB GROUP B.V. 发明人 LANDSBERGEN, JEROEN, FRANCISCUS, MARIA;VYSKOCIL, JIRI
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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