发明名称 气相沉积
摘要 本发明涉及一种用于将涂层施加到衬底上的方法,其中所述涂层是由至少两种组分或者元素形成的。在一个优选的实施例中,所述涂层是由至少两种金属形成的。根据本发明,在扼流的状态下通过气相沉积施加涂层。
申请公布号 CN1458985A 申请公布日期 2003.11.26
申请号 CN01815762.9 申请日期 2001.07.17
申请人 科鲁斯技术有限公司 发明人 J·A·F·M·沙德范维斯特鲁姆;J·L·林登;J·F·M·维尔图伊斯
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 温大鹏;黄力行
主权项 1.一种用于将涂层施加到衬底上的方法,其中,在扼流的状态下将至少第一蒸气和第二蒸气沉积在所述衬底上。
地址 荷兰艾恩德霍芬