湿度传感器元件及其制造方法

摘要

提供一种湿度传感器元件及其制造方法，其中，在绝缘基板上隔着间隙设有一对相向的电极，在间隙上具有感湿薄膜，感湿薄膜含有由式(1)的单体聚合得到的聚合物或共聚物，在形成该感湿薄膜时，可以进一步适宜组合物理手段处理绝缘基板，上述湿度传感器元件能够检测、定量大气中的水分，具有优良的耐水性、耐溶剂性和耐气性，在很宽的湿度范围内无滞后性，具有稳定的输出特性。[式(1)中，A₁₁代表二价基。R₁₁～R₁₄各自代表烷基，相同或不同均可。Y₁₁和Y₁₂各自代表在末端有烯属不饱和反应性基团的一价基，相同或不同均可。R₁₁～R₁₄、Y₁₁、Y₁₂、A₁₁和它们的氮原子(N)侧的一部分中的任意2个以上可以结合，与氮原子(N)形成环。X₁₁^－和X₁₂^－为阴离子]。

主权项

1.一种湿度传感器元件，其中，在绝缘基板上隔着间隙设有一对相向的电极，在所述间隙上具有感湿薄膜，前述的感湿薄膜含有式(1)所示的单体1种以上和式(2)所示的单体1种以上的共聚物。式(1)中，A₁₁代表二价基。R₁₁，R₁₂，R₁₃和R₁₄各自代表烷基，相同或不同均可。Y₁₁和Y₁₂各自代表在末端有烯属不饱和反应性基团的一价基，相同或不同均可。R₁₁～R₁₄、Y₁₁、Y₁₂、A₁₁和它们的氮原子(N)侧的一部分中的任意2个以上也可以各自结合，与氮原子(N)形成环。X₁₁^-和X₁₂^-各自表示阴离子，相同或不同均可。式(2)中，A和B各自代表二价基。Y₁，Y₂，Y₃，Y₄，Y₅和Y₆各自代表一价基，相同或不同均可，它们中的至少一个是末端有烯属不饱和反应性基团的基团。Y₁，Y₂，Y₃，Y₄，Y₅，A和它们的氮原子(N)侧的一部分中的任意2个以上，或者Y₄，Y₅，Y₆，B和它们的氮原子(N)侧的一部分中的任意两个以上也可以各自结合，与氮原子(N)形成环。X₁^-和X₂^-各自表示阴离子，相同或不同均可。n为2～5000。