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发明名称 Method for preparing monosilanes
摘要
申请公布号 EP0861844(B1) 申请公布日期 2003.11.26
申请号 EP19980301412 申请日期 1998.02.26
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 TSUKUNO, AKIHITO;SATOH, YUKINORI;MARUYAMA, MASAO;HARADA, KESAJI;TANAKA, SHOICHI;FURUYA, MASAAKI
分类号 C07F7/16;B01J31/02;C07B61/00;C07F7/12;(IPC1-7):C07F7/12 主分类号 C07F7/16
代理机构 代理人
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