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发明名称 Novolak resin precursor, novolak resin and positive photoresist composition containing the novolak resin
摘要
申请公布号 EP0902326(B1) 申请公布日期 2003.11.26
申请号 EP19980113799 申请日期 1998.07.23
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 MIYAGI, KEN;DOI, KOUSUKE;TAKAHASHI, RYUUSAKU;KOHARA, HIDEKATSU;NAKAYAMA, TOSHIMASA
分类号 G03F7/022;C08G8/00;C08G8/10;C08L61/06;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023;C08G8/12;C07C39/15;C08G8/08 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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