发明名称 MICROMACHINED COMPONENT AND METHOD OF MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP1363851(A2) 申请公布日期 2003.11.26
申请号 EP20010977465 申请日期 2001.10.04
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 GORRELL, JONATHAN, F.;NIELSEN, GORDANA, S.
分类号 B81B3/00;B81C1/00;(IPC1-7):B81C1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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