| 发明名称 |
Method for analyzing and estimating measurement values of an open inspection system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1246034(A3) |
申请公布日期 |
2003.11.26 |
| 申请号 |
EP20020450059 |
申请日期 |
2002.03.13 |
| 申请人 |
AVL LIST GMBH |
发明人 |
HARMS, KLAUS-CHRISTOPH DR.;BEIDL, CHRISTIAN DR. |
| 分类号 |
G01N3/62;G05B23/02;(IPC1-7):G05B23/00 |
主分类号 |
G01N3/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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