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发明名称
摘要
申请公布号
JP3470084(B2)
申请公布日期
2003.11.25
申请号
JP20000147806
申请日期
2000.05.19
申请人
发明人
分类号
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/822;H01L21/823
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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