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发明名称
摘要
申请公布号	JP3470786(B2)	申请公布日期	2003.11.25
申请号	JP19960303750	申请日期	1996.10.29
申请人		发明人
分类号	G01G3/16;C23C18/31;C25D21/12;G01B17/00;G01B17/02;G01G17/04;G01N5/02;(IPC1-7):G01G17/04	主分类号	G01G3/16
代理机构		代理人
主权项
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