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发明名称
摘要
申请公布号 JP3469255(B2) 申请公布日期 2003.11.25
申请号 JP19920066437 申请日期 1992.03.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/088;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/823 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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