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发明名称
摘要
申请公布号 JP3470023(B2) 申请公布日期 2003.11.25
申请号 JP19970280062 申请日期 1997.10.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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