| 主权项 |
1.一种用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,包括:一设于半导体设备之真空泵浦管路中的管路连接头,该管路连接头内部形成有容置空间,并具有与该管路相通之进气口与出气口;一支座,固设于该容置空间之内壁处上;一调整杆,连接于该支座上并朝向该进气口延伸;及一逆止阀塞,活动套设于该调整杆朝向进气口延伸之一端上,并于该逆止阀塞与调整杆之间设置一弹性元件,且该逆止阀塞具有一圆锥端面,该圆锥端面系抵靠于该容置空间近进气口周缘之内壁处,以呈常闭状态。2.如申请专利范围第1项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该管路连接头之容置空间近进气口周缘的内壁处上系嵌设一O型环。3.如申请专利范围第1项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该支座系位于该管路连接头近出气口之横向截面的中心位置处,并于该支座与容置空间之内壁间横设复数肋条。4.如申请专利范围第1项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该支座上穿设有一螺孔,而该调整杆与支座连接之一端上则具有一螺纹部,且该螺纹部系与该支座之螺孔相螺接。5.如申请专利范围第1项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该调整杆与逆止阀塞活动套设之一端上系形成一套设部,该弹性元件则套设于该套设部上。6.如申请专利范围第1项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该逆止阀塞与调整杆活动套设之处系设有一凹槽,该弹性元件则容置于该凹槽中。7.如申请专利范围第1项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该逆止阀塞之弹性元件系为一压缩弹簧。8.一种用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,包括:一由半导体设备之真空泵浦管路中局部外扩所形成之容置空间,该容置空间具有与该管路相通之进气口与出气口;一支座,固设于该容置空间之内壁处上;一调整杆,连接于该支座上并朝向该进气口延伸;及一逆止阀塞,活动套设于该调整杆朝向进气口延伸之一端上,并于该逆止阀塞与调整杆之间设置一弹性元件,且该逆止阀塞具有一圆锥端面,该圆锥端面系抵靠于该容置空间近进气口周缘之内壁处,以呈常闭状态。9.如申请专利范围第8项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该容置空间近进气口周缘之内壁处上系嵌设一O型环。10.如申请专利范围第8项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该支座系位于该容置空间近出气口之横向截面的中心位置处,并于该支座与容置空间之内壁间横设复数肋条。11.如申请专利范围第8项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该支座上穿设有一螺孔,而该调整杆与支座连接之一端上则具有一螺纹部,且该螺纹部系与该支座之螺孔相螺接。12.如申请专利范围第8项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该调整杆与逆止阀塞活动套设之一端上系形成一套设部,该弹性元件则套设于该套设部上。13.如申请专利范围第8项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该逆止阀塞与调整杆活动套设之处系设有一凹槽,该弹性元件则容置于该凹槽中。14.如申请专利范围第8项所述之用于真空泵浦管路之防止气体倒灌装置,其中该逆止阀塞之弹性元件系为一压缩弹簧。图式简单说明:第一图 系本创作呈逆止状态之剖视图。第二图 系第一图之2-2断面剖视图。第三图 系本创作呈开启状态之剖视图。 |
