发明名称 |
CONDENSATEUR EN TRANCHEES DANS UN SUBSTRAT AVEC DEUX ELECTRODES FLOTTANTES ET INDEPENDANTES DU SUBSTRAT |
摘要 |
<P> L'invention concerne un condensateur réalisé dans un substrat comprenant un évidement (2) creusé dans un substrat (1); une première couche (3) d'un matériau diélectrique recouvrant les parois, le fond et les bords de l'évidement; une deuxième couche (4) d'un matériau conducteur recouvrant la première couche; une troisième couche (5) d'un matériau conducteur ou isolant remplissant l'évidement; des tranchées traversant la troisième couche; une quatrième couche (6) d'un matériau conducteur recouvrant les parois, les fonds ainsi que les intervalles entre ces tranchées et les bords de celles-ci; une cinquième couche (7) d'un matériau diélectrique recouvrant la quatrième couche; et une sixième couche (8) d'un matériau conducteur recouvrant la cinquième couche. </P>
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申请公布号 |
FR2839811(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.21 |
申请号 |
FR20020005965 |
申请日期 |
2002.05.15 |
申请人 |
STMICROELECTRONICS SA |
发明人 |
DELPECH PHILIPPE;CREMER SEBASTIEN;MARTY MICHEL |
分类号 |
H01L21/02;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/334;H01L29/94 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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