发明名称 CONDENSATEUR EN TRANCHEES DANS UN SUBSTRAT AVEC DEUX ELECTRODES FLOTTANTES ET INDEPENDANTES DU SUBSTRAT
摘要 <P> L'invention concerne un condensateur réalisé dans un substrat comprenant un évidement (2) creusé dans un substrat (1); une première couche (3) d'un matériau diélectrique recouvrant les parois, le fond et les bords de l'évidement; une deuxième couche (4) d'un matériau conducteur recouvrant la première couche; une troisième couche (5) d'un matériau conducteur ou isolant remplissant l'évidement; des tranchées traversant la troisième couche; une quatrième couche (6) d'un matériau conducteur recouvrant les parois, les fonds ainsi que les intervalles entre ces tranchées et les bords de celles-ci; une cinquième couche (7) d'un matériau diélectrique recouvrant la quatrième couche; et une sixième couche (8) d'un matériau conducteur recouvrant la cinquième couche. </P>
申请公布号 FR2839811(A1) 申请公布日期 2003.11.21
申请号 FR20020005965 申请日期 2002.05.15
申请人 STMICROELECTRONICS SA 发明人 DELPECH PHILIPPE;CREMER SEBASTIEN;MARTY MICHEL
分类号 H01L21/02;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/334;H01L29/94 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址