| 发明名称 |
SPLIT-POLYSILICON CMOS PROCESS FOR MULTI-MEGABIT DYNAMIC MEMORIES INCORPORATING STACKED CONTAINER CAPACITOR CELLS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
HK1006648(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.21 |
| 申请号 |
HK19980105856 |
申请日期 |
1998.06.22 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
DENNISON, CHARLES, H.;AHMAD, AFTAB |
| 分类号 |
H01L27/092;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
H01L27/092 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
