| 发明名称 |
Herstellungsverfahren für Halbleiteranordnung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69718733(T2) |
申请公布日期 |
2003.11.20 |
| 申请号 |
DE19976018733T |
申请日期 |
1997.09.05 |
| 申请人 |
NEC ELECTRONICS CORP., KAWASAKI |
发明人 |
SASAKI, MAKOTO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/310 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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