| 发明名称 |
Transportvorrichtung mit einem Greiforgan für den Transport von Substraten |
| 摘要 |
Eine Transportvorrichtung (1) umfasst ein Greiforgan (2) für den Transport von Substraten (3). Das Greiforgan (2) weist eine Platte (4) auf, an deren Unterseite die Sauggreifer (5) magnetisch befestigbar sind. Vorzugsweise besteht die Platte (4) aus Stahl und jeder Sauggreifer (5) weist einen Permanentmagneten auf.
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| 申请公布号 |
DE10317194(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.20 |
| 申请号 |
DE20031017194 |
申请日期 |
2003.04.15 |
| 申请人 |
ESEC TRADING S.A., CHAM |
发明人 |
HARTMANN, DOMINIK;SCHUBIGER, RETO |
| 分类号 |
B25B11/00;B25J15/00;B25J15/06;B65G49/07;H01L21/683;(IPC1-7):B65G49/07;B65G47/91 |
主分类号 |
B25B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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