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经营范围
发明名称
Magnetron-Sputtervorrichtung
摘要
申请公布号
DE10196963(T1)
申请公布日期
2003.11.20
申请号
DE20011096963T
申请日期
2001.12.04
申请人
TRIKON HOLDINGS LTD., NEWPORT
发明人
GREEN, GORDON ROBERT;TROWELL, ROBERT KENNETH;BARRASS, ANTHONY WILLIAM;TEAGLE, ROBERT WILLIAM;MONCRIEFF, IAN;BURGESS, STEPHEN ROBERT
分类号
H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34
主分类号
H01J37/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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