发明名称 Magnetron-Sputtervorrichtung
摘要
申请公布号 DE10196963(T1) 申请公布日期 2003.11.20
申请号 DE20011096963T 申请日期 2001.12.04
申请人 TRIKON HOLDINGS LTD., NEWPORT 发明人 GREEN, GORDON ROBERT;TROWELL, ROBERT KENNETH;BARRASS, ANTHONY WILLIAM;TEAGLE, ROBERT WILLIAM;MONCRIEFF, IAN;BURGESS, STEPHEN ROBERT
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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