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发明名称 Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung
摘要
申请公布号 DE59710849(D1) 申请公布日期 2003.11.20
申请号 DE19975010849 申请日期 1997.04.14
申请人 SINGULUS TECHNOLOGIES AG 发明人 SICHMANN, EGGO
分类号 C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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